近日，第十四届半导体设备及核心部件展（CSEAC 2026）圆满落幕。作为国内极具影响力的半导体装备专业交流平台，本届展会汇聚了产业链千余家优质企业，集中展示了行业前沿技术与国产化创新方案。上海航天裕达科技有限公司（以下简称“航天裕达”）携全系列质谱仪及真空装备等核心产品重磅亮相，凭借硬核技术实力在同期举办的核心部件创新大赛中斩获“产品创新一等奖”，并在新产品发布会上大放异彩，彰显了企业在半导体仪器领域的创新能力。
一、全系RGA重磅亮相，实力问鼎行业大奖
展会同期，主办方围绕技术创新、国产替代、产业化价值等核心维度，举办了高规格的半导体设备核心部件创新大赛。航天裕达系列残余气体分析质谱仪（RGA）凭借领先的核心技术、完善的产品体系及成熟的落地应用，从众多参赛企业中脱颖而出，一举斩获“CSEAC 2026产品创新一等奖”。
此次获奖，不仅是对航天裕达技术创新实力与产品性能的高度认可，更是对其深耕半导体领域攻坚成果的有力肯定。
二、受邀重磅发布，现场反响热烈
在展会同期举办的CSEAC 2026新产品新技术发布会上，航天裕达作为特邀企业，重磅发布了全系列国产化残余气体分析质谱仪（RGA）。此次发布进一步补齐了国产真空检测设备的产品矩阵，为半导体设备核心环节提供了强有力的国产化支撑，引发了现场观众与行业专家的高度关注与好评。
残余气体分析质谱仪（RGA）作为半导体制程的核心关键装备，被誉为集成电路制造的“嗅觉神经”。它能够实现真空腔体气体组分的实时监测与微量污染物溯源，直接关乎工艺薄膜质量与晶圆生产良率。
依托航天领域深厚的真空检测技术积淀，航天裕达深耕技术自研与成果转化，坚持正向设计，实现RGA核心器件、算法及系统集成全面自主可控，成功打破国外技术垄断，形成可量产、可落地的国产化替代方案。
本次发布的全系列RGA产品精准覆盖半导体全制程工况：通用系列适配高端先进制程，具备超高真空、超低分压检测能力，满足高端晶圆严苛的真空洁净度要求；短杆系列适配中高压真空工况，兼顾精度与通用性，适配刻蚀、沉积等量产工艺，性价比突出，广泛应用于各大Fab产线；机组系列采用模块化集成设计，安装便捷、适配性广，可满足半导体整线标准化、批量化部署需求。全新发布的防辐射型RGA产品，针对性适配特殊复杂工况，填补了细分领域国产化设备空白。
展会期间，航天裕达还同步展示了多用途真空装备等多元化产品，全面展现了公司从单台精密检测设备到成套真空系统解决方案的全链条研发与交付能力。公司技术团队与现场观众进行了深度的技术对接与产品推介，有效链接了行业资源，进一步提升了企业的行业影响力与品牌认可度。
未来，航天裕达将继续深耕半导体高端真空装备赛道，持续优化产品性能、迭代核心技术、完善成套解决方案，以创新之力助推行业高质量快速发展。
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